大国重器第四百九十六章 此生无憾(1/3)

透镜的研发成功只是第一步。光

刻机的制造难度极大，但主要的拦路虎一共有四条。第

一是制造精度要求极高，一台光刻机数万个零件，要求的制造精度最少也是微米级，绝大多数精密部件要求精度达到亚微米级，极少数超高精密零部件的加工精度需要达到100纳米～200纳米。这

样高的精度，以国内现行的加工技术，根本做不到。人

力有时而穷，八级技工的手工打磨最高精度仅能达到亚微米级，就算秉持着十年磨一剑的精神，也磨不出精度只有100微米的极高精密零件。不

过对于钢铁城来说，这已经不是问题。实验工厂新研发的自动车床、铣床、磨床等一系列加工设备，均达到了最高精度一百多纳米的水平，完全达到了个别超高精密零部件的加工要求。

第二个是高透光度的透镜。第

三个拦路虎，则是光刻机的行动部件。

最后一个，就是短波激光光源。芯

片光刻，是通过工作台的移动，来改变光刻聚焦，对光刻胶进行刻蚀。它的运动控制部件优劣，直接决定了光刻的精度，而移动速度，又决定了产率，可以说是光刻机最核心的子系统。要

保证最佳的对焦调整，工作台的最小移动距离必须非常小，最好是一个纳米一个纳米移动。实

际制作中当然达不到这样的精度。

以飞利浦最新款的光刻机为例，它的最小移动距离实际只有300纳米。加上光源波长，它的光刻效果，最小线宽达到了三百五十纳米。其

他厂商差不多也是同一水平，有区别也差距不大。

这就是当前国际最先进的光刻机制程能力。

所谓一代设备，一代产品。

最新的奔腾2266处理器，采用的就是350纳米线宽的制程工艺。

白云天进入到实验室，对李莲道：“你们这边进度怎么样？”

“非常顺利！”李莲给了他一个笑脸。她

带领的小组，负责制造光刻机最关键的工作台子系统，其中最重要的就是运动部件。

为了保证运动的稳定性，移动部分不是普通导轨，而是空气悬浮导轨。

从制造难度来说，它不算太大。

无非是一两百纳米的加工精度，对才鸟枪换炮的钢铁城来说一点难度也没有。

之所以它会成为光刻机研制的拦路虎，还是因为导轨设计需要运用到非常高深的流体力学知识，才能验算出怎样设计才会将气流对工作台稳定性的影响降到最低，从而设计出满足工业需要的产品。偏

偏这一点，对白云天最不构成阻碍。

谁让他有《制造史回顾》！从

科研的角度来说，这时代的其他人就好像盲人在旷野中摸索。

他们要很小心才不会路上的沟坎、障碍物绊倒，然后还要努力分辨前方究竟是悬崖，还是崎岖难行的山路，亦或是高不可攀的山峰。只

有通过空气流动、潺潺水声，他们才能花费巨大代价，找到一条前进的道路。但

即便如此，也许跟着水流、空气前行，还是会走入死胡同，不得不又退回到起点，重新寻找别的途径。在这个过程中，他们也尽可能与其他探路者相互交流信息，告诉别人某条路可能走得通，某条路是死路，让他们不要再去尝试。

人类文明每前进一步，都艰辛无比。但

白云天不同。

他就如同开了全图的玩家，一落地，就对四面八方的道路有着完整的认知，绝对不会走错。决

定他前进速度的，从来不是寻路的过程，而是有着怎样的交通工具。

他可以一直走在正确的道路上，偶尔步入一个岔路，在地上捡到一点不知道谁丢的钱。随后，他就可以用这钱去买一辆自行车，在接下来的路上骑得更快、更轻松，还有空看看美丽的风景。

光刻机的制造就是这样。其

他光刻机巨头，需要投入重金，请最优秀的研发人员，用最好的研发设备，潜心研究数年，中途还要用利益跟其他人交换技术，才能艰难地前行一步。

然而白云天不需要。他

在一开始，就清楚地知道自己在做什么样的东西，如何去做。

只要自己的技术够了，不需要试多少次，就能将东西做出来。这

对这时代的其他科研人员是不公平的。但

这世界，从来没有公平！

落后就要挨打，这是永世不变的至理箴言！

白云天从来不需要顾虑他人的感受，他只是根据自己的目标，坚定地走在自己的路上。

透镜、工作台很容易就做了出来。

并且他还根据后世设计，对工作台做了巨大改动，将惯常的一个工作台，改为了双工作台。当

一个工作台正在进行光刻工序时，另一个工作台则提前进行晶圆片更换、定位、微调、测量等前序工作。当那一个工作台完成光刻，两个工作台换位，立即就能进行下一道光刻工序，极大地提升了光刻效率。

光源部分，是唯一没有自造的。毕

竟汞灯只是光刻机光源，波长统一为365纳米，其制造难度并不是特别大。国际市场上的供应商很多，全面禁止对华出口的难度较大，很容易买到。白

云天为了省事，也就没自造，而是通过国内，直接购买了一套。

但是他还是做了小幅改进。就

是用将目镜浸入纯净液体中的方式，对光束波长进行一定幅度的折射，从而